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HQ-RTS-L系列 红外光学温度计

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HQ-RTS-L系列 红外光学温度计

HQ-RTS-L系列在控制晶圆之间温度和薄膜厚度的均匀性方面具有更高优势。 

HQ-RTS-L红外温度计采用高度敏感的电子器件及光学系统,可以使用更短波长的探测器来测量辐射能,减少了晶圆透射及发射率造成的误差。此外,红外温度计的高速采集和高分辨率对于控温和噪声抑制起到很好的作用,进而对晶圆温度监控和生产工艺的提升能得到很好的帮助。

应用案例

性能参数